来源:《仪器仪表学报》1998年第03期作者:王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英
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LSI 薄膜台阶测量仪的研制

本文介绍了一台实用化的用于LSI薄膜台阶在线检测的台阶测量仪,它采用精密机械——LVDT——信号处理——计算机控制的方案。使用方便,实现了台阶的自动测量。实验表明:仪器重复测量精度可达±0.0147μm,很好地满足了LSI生产线上的要求。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

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