基于人工鱼群霍夫变换的单晶硅直径检测
为提高单晶硅直径检测的速度和精度,首先将单晶硅直径检测转换为在图像中对高亮光环进行椭圆检测的问题,并依据此提出了一种基于人工鱼群霍夫变换的椭圆检测方法,该方法在参数空间中由人工鱼群算法搜索霍夫变换之后使得累加器达到最大值的椭圆参数最优解,从而得到精确的单晶硅直径测量值。最后通过基于带有高斯白噪声的完整椭圆、不完整椭圆的仿真实验和单晶硅直径检测工程实验进行验证,并且和5种传统方法(最小二乘法、霍夫变换、随机霍夫变换、粒子群霍夫变换和RANSAC)进行对比。实验结果表明,所提方法有效地提高了霍夫变换椭圆检测的速度和精度,从而提高了单晶硅直径检测的速度和精度。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]