来源:《仪器仪表学报》2006年第S2期作者:张辉军;穆长生;王璐;
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硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究

采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

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