来源:《仪器仪表学报》2006年第S2期作者:邱成军;左霞;孙艳美;孔姗姗;
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酞菁铅薄膜气体传感器的研制及其特性研究

采用MEMS技术研制了一种以材料硅为基底,具有立体结构的酞菁铅(PbPc)薄膜气体传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计及工艺流程,给出了酞菁铅薄膜的制备方法,并对PbPc薄膜气体传感器进行了敏感特性研究。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

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