来源:《仪器仪表学报》2006年第S2期作者:郑静琳;李玉和;廖晓华;李庆祥;
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用于二维精密定位工作台的微位移机构设计

微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一。本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

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