来源:《仪器仪表学报》2006年第S2期作者:汪祖民;孙红光;韩泾鸿;边超;陈绍凤;夏善红;
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基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制

研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC)。其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

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