来源:《仪器仪表学报》2003年第06期作者:于瀛洁,李国培
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拼接干涉测量技术

利用相关拼接技术实现光学波面检测 ,可以用较小的测量口径实现较大面积的测量 ,并保持高的测量精度、高的空间分辨率和系统的低成本。获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键。简述了采用相移技术测量子孔径波面的关键技术。两个子孔径之间的拼接是比较容易的 ,但采用两两拼接的方法会有很大的误差累积。因此采用了具有误差均化作用的拼接方法 ,该方法本质上是一种并行的方法。文中简述了该拼接方法的数学模型和求解方法。最后给出了拼接的实测结果 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

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