来源:《仪器仪表学报》1981年第04期作者:分子束外延设备研制组
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分子束外延设备

<正> 分子束外延(简称MBE)技术是近十年来基于真空蒸发技术发展起来的一门晶体生长新技术,它是在超高真空(10~(-10)托)条件下,控制不同束流成分和密度的分子束,打在一定温度的单晶衬底上,按化学配比进行结晶外延生长的。MBE技术具有以下特点;生长速率慢,可控制在每秒零点几埃至每秒十几埃,因此可以生长几埃到几十埃厚度的超薄单晶膜。且 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

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