来源:《仪器仪表学报》2011年第10期 作者:马立;欧阳航空;荣伟彬;何正峰;孙立宁;
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基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法

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针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法。采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿。设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统,通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0.1μm,重复检测精度为±0.3μm,并能较好地跟踪方波及正弦波信号。采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位。实验结果表明:当球面镜的加工及安装误差在允许范围内时,位姿检测系统可以在25 s内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整,最大距离误差为0.5μm,最大角度误差为8″,充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性。(本文共计6页)      

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仪器仪表学报杂志2011年第2011期
仪器仪表学报
主办:中国仪器仪表学会
出版:仪器仪表学报杂志编辑部
出版周期:月刊
出版地:北京市

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