来源:《仪器仪表学报》2004年第02期 作者:赵玉龙,赵立波,蒋庄德
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基于SIMOX技术的高温压力传感器研制

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应用氧离子注入 (Separation by Implantation of Oxygen) SIMOX技术 ,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离 (SOI)压力敏感元件。采用了一种新型梁膜结合封装工艺 ,有效地解决了被测压力高温冲击问题 ,可应用于航空、航天发动机等恶劣环境下的压力测量。(本文共计3页)      

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仪器仪表学报杂志2004年第2004期
仪器仪表学报
主办:中国仪器仪表学会
出版:仪器仪表学报杂志编辑部
出版周期:月刊
出版地:北京市

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