来源:《理化检验-物理分册》2008年第07期 作者:陈良贤;李成明;陈飞;刘政;黑立富;宋建华;陈广超;唐伟忠;吕反修;
选择字号

抛光对化学气相沉积金刚石自支撑膜断裂强度的影响

分享到: 分享到QQ空间

研究了抛光对化学气相沉积金刚石自支撑膜断裂强度的影响。结果表明,金刚石自支撑膜粗糙表面所带来的V形缺口会降低其断裂强度,而且随着膜厚的增加,降低的程度越明显,通过抛光粗糙表面,消除了V形缺口对断裂强度的影响,有利于提高金刚石膜的抗破坏能力。提出了一种金刚石膜断裂强度的经验计算方法,获得的断裂强度值更接近于金刚石膜的本征断裂强度。(本文共计4页)       [继续阅读本文]

下载阅读本文     订阅本刊
   

相关文章推荐

理化检验-物理分册杂志2008年第07期
理化检验-物理分册
主办:上海材料研究所
出版:理化检验-物理分册杂志编辑部
出版周期:月刊
出版地:上海市

本期目录