来源:《理化检验-物理分册》2002年第11期 作者:王天生,田永君,彭炜,胡文斐,李林
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脉冲激光蒸发熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜

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用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(0 0 1)单晶基片上制备了YBa2 Cu3O7 δ超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明 ,薄膜呈c轴取向 ,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2 O3杂相 ,且具有择优取向 ,而靶材中所含的Y2 BaCuO8相却没有在薄膜中形成。沉积温度升高 ,有利于 [0 0 1]取向 ,但不利于 [111]取向的Y2 O3形成。与传统的粉末烧结靶相比 ,用熔融织构靶制备YBa2 Cu3O7 δ薄膜可以明显抑制薄膜表面颗粒的形成(本文共计4页)       [继续阅读本文]

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理化检验-物理分册杂志2002年第11期
理化检验-物理分册
主办:上海材料研究所
出版:理化检验-物理分册杂志编辑部
出版周期:月刊
出版地:上海市

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