来源:《理化检验-物理分册》2002年第11期 作者:姜传海,陈世朴,徐祖耀
选择字号

薄膜材料X射线衍射物相分析与内应力测定

分享到: 分享到QQ空间

基于不对称布拉格反射理论 ,介绍了薄膜材料二维X射线衍射分析方法 ,并对铝合金表面的TiN薄膜进行了分层掠射分析 ,证实了该分析方法的可行性。结合掠射、侧倾、内标及交相关函数定峰等技术 ,改进了常规X射线应力测量方法 ,测量了上述薄膜中的内应力 ,表明可显著提高内应力测量精度。(本文共计4页)       [继续阅读本文]

下载阅读本文     订阅本刊
   

相关文章推荐

理化检验-物理分册杂志2002年第11期
理化检验-物理分册
主办:上海材料研究所
出版:理化检验-物理分册杂志编辑部
出版周期:月刊
出版地:上海市

本期目录