化学敏感半导体器件
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<正> 近几年来,由于电化学家和固体物理学家的结合,电化学与半导体技术和理论的相互渗透,提出了一类能够敏感离子或分子的半导体器件,称为化学敏感半导体器件。这类器件的出现不仅影响着电分析化学、医学和生物学等学科,而且对固体物理学的研究也具有重要意义。随着近十多年来离子选择性电极(或称化学敏感选择性电极)技术的发展,Bergveld首先提出了一个化学敏感半导体器件,他称之为离子敏感场效应管(Ion Sensistive Field Effect Transistor,简称ISFET)。Bergveld用普通的金属-氧化物-半导体场效应管(MOSFET),(本文共计3页)
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