来源:《电子世界》2021年第05期 作者:潘俊花;
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MEMS传感器的发展趋势及其应用

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<正>MEMS传感器是一种新型的传感器技术,是多学科领域交叉的前沿科技技术。本文主要研究MEMS传感器国内及国外的发展现状和趋势以及主要的应用领域。MEMS突出的优点是利用微电子技术把传感器、执行器和处理电路这三部分集成在一起,组成单片集成传感器或系统,更可以实现传感器芯片的大规模批量制造,已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域,并成为国际竞争的战略制高点。(本文共计2页)       [继续阅读本文]

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电子世界杂志2021年第05期
电子世界
主办:中国电子学会
出版:电子世界杂志编辑部
出版周期:半月
出版地:北京市

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