跨世纪的高新技术:薄膜

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<正> 薄膜,是指通过物理或化学过程,以原子、分子或离子形式受控地凝结于某一基体材料上所形成的固体材料。处于薄膜形态的物质,与对应的体材料相比,具有其一系列独特性质。所以,在现代微电子学领域中,薄膜器件正在发挥着越来越大的作用。事实上,薄膜科学与器件技术已经成为现代科学技术中不可缺(本文共计2页)       [继续阅读本文]