来源:《仪器仪表学报》2004年第02期作者:赵玉龙,赵立波,蒋庄德
选择字号

基于SIMOX技术的高温压力传感器研制

应用氧离子注入 (Separation by Implantation of Oxygen) SIMOX技术 ,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离 (SOI)压力敏感元件。采用了一种新型梁膜结合封装工艺 ,有效地解决了被测压力高温冲击问题 ,可应用于航空、航天发动机等恶劣环境下的压力测量。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

本期目录