来源:《仪器仪表学报》1990年第02期作者:古丽蓉,王佳,章恩耀,曹芒
选择字号

一种测量表面粗糙度的激光外差干涉仪

本文讨论激光外差干涉技术测量表面粗糙度仪器的工作原理。作者利用两个声光调制器产生差频光,解调拍频信号并进行鉴相处理,精确测量表面粗糙度。文中还讨论了设计研制的表面粗糙度外差干涉仪的具体技术问题,对不同样品及加工表面进行实测,并与传统触针测试方法、干涉显微镜所得到的结果进行了比对,理论分析与实验结果一致:仪器灵敏度为10(?),测量精度10nm。 (本文共计1页)......[继续阅读本文]

本期目录