来源:《实验室科学》2016年第04期 作者:单庆;刘冲;姜睿;尹鹏和;徐征;崔岩;
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休斯光刻机汞灯电源的原理与维修技术

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汞灯具有电弧密度大、亮度高、近紫外谱线集中等许多优点,在微电子光刻领域中有广泛应用。由于汞灯为高强度气体放电灯,发光受环境温度、电压强度等因素影响较大,为光刻设备中易出现故障的器件之一。在大连理工大学微系统实验室近9年的使用过程中,对德国休斯公司生产的MA6型光刻机的汞灯工作原理进行了充分的研究和分析。通过维修,解决了汞灯电源电流停机保护故障和温度停机保护故障两个问题,保障了设备的正常运行。同时,揭示了汞灯光源的功率电路、控制电路原理,介绍了恒功率输出、恒光强输出的电路工作原理。(本文共计3页)       [继续阅读本文]

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实验室科学杂志2016年第04期
实验室科学
主办:南开大学;中国高等教育学会
出版:实验室科学杂志编辑部
出版周期:双月
出版地:天津市

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