来源:《仪器仪表学报》2006年第S2期 作者:石志松;朱惠忠;王文炎;
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用于液相生物量检测的单片阵列QCM传感器

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设计并制作了一种单片集成的阵列式QCM(石英晶体微天平)传感器,介绍了设计思想和方法,用网络分析仪对实验器件进行了分析。阵列传感器设计成分时扫描激励的工作模式,通过选通电路对阵列各单元进行扫描激励,实现各单元的依次工作。避免了各谐振器单元之间可能的振动耦合,从而可以在单个石英晶片上集成尽可能多的器件。该阵列式QCM传感器加工工艺简单,频率一致性好,平均频率稳定度达到±0.2ppm/h。(本文共计3页)      

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仪器仪表学报杂志2006年第2006期
仪器仪表学报
主办:中国仪器仪表学会
出版:仪器仪表学报杂志编辑部
出版周期:月刊
出版地:北京市

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