来源:《科技风》2019年第02期 作者:陈英男;
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CVD腔室流体换热计算

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CVD腔室需维持一定的温度来保证工艺环境稳定及防止工艺气体冷凝。流体加热因相对电加热而言有更好的柔性,而被较多的采用。本文结合CVD腔室的流体换热计算过程,描述流体换热的影响因素,可用于换热系统的设计选型及参数调节。并可推广至其他类似的流体换热设备。(本文共计1页)       [继续阅读本文]

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科技风杂志2019年第02期
科技风
主办:河北省科技咨询服务中心
出版:科技风杂志编辑部
出版周期:旬刊
出版地:河北省石家庄市

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