来源:《科技风》2016年第15期 作者:王东雪;
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碳化硅晶体中硼含量的SIMS定量分析方法研究

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采用SIMS相对灵敏度因子法,对碳化硅中硼含量的定量分析方法进行了系统的研究。通过对离子注入的参考样品进行SIMS深度剖析测得RSF值,实现了碳化硅中硼杂质含量的精确定量检测。碳化硅中硼的检测限可达到1e14atoms/cm3。(本文共计2页)       [继续阅读本文]

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科技风杂志2016年第15期
科技风
主办:河北省科技咨询服务中心
出版:科技风杂志编辑部
出版周期:旬刊
出版地:河北省石家庄市

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