来源:《科技成果纵横》2012年第06期 作者:孙雪松;彭海娇;
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<正>沈阳拓荆科技有限公司成立于2010年4月,是国内唯一一家能够生产用于大规模集成电路生产线的量产型PECVD设备供应商。公司致力于研究和生产世界领先的极大规模集成电路行业专用薄膜设备,矢志成为纳米级薄膜制造技术解决方案的领导者,确立以世界最先进的薄膜技术服务于全球客户的理念,建立一个国际化的薄膜制备企业。公司主营2-12英寸全系列PECVD设备,产品广泛应用于集成电路、光波导、LED、MEMS、TSV等领域。承担了国家02重大(本文共计1页)       [继续阅读本文]

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科技成果纵横杂志2012年第06期
科技成果纵横
主办:中国技术市场协会;沈阳市科技成果转化与推广促进会
出版:科技成果纵横杂志编辑部
出版周期:双月
出版地:辽宁省沈阳市

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